純水所指的純水又稱純凈水，是指以符合生活飲用水衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的水為原水。保定康達(dá)水業(yè)介紹通過電滲析法、離子交換法、反滲透法、蒸餾法及其他適當(dāng)?shù)募庸し椒ǎ频玫拿芊庥谌萜鲀?nèi)，且不含任何添加物，無色透明，可直接飲用的水。市場上出售的太空水，蒸餾水均屬純凈水。

超純水是在高純水的基礎(chǔ)上進(jìn)一步將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ.cm，或接近18.25MΩ.cm極限值。超純水是一般工藝很難達(dá)到的程度，可以將微濾技術(shù)、超濾技術(shù)、反滲透技術(shù)、EDI連續(xù)電除鹽技術(shù)，離子交換技術(shù)的兩種及以上的技術(shù)，通過合理的工藝設(shè)計(jì)，設(shè)備選型，方可制造出超純水。

純水和超純水一般都沒有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)。一般意義上講純水至少應(yīng)該是去離子水，即水中大部分陰陽離子是應(yīng)該被去除的。超純水處理是一般工藝很難達(dá)到的程度，采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理四大步驟，多級(jí)過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達(dá)18.25MΩ*cm(25℃)。

超純水，又稱UP水，電阻率達(dá)到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成電路工業(yè)中，用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。

純水又稱去離子水，是指市政自來水通過電滲析器法、離子交換器法、反滲透法、蒸餾法及其他適當(dāng)?shù)募庸し椒?，制得的密封于容器?nèi)，且不含任何添加物，無色透明，可直接飲用的水，也可以稱為純凈物，在試驗(yàn)中使用較多，又因是以蒸餾等方法制作，故又稱蒸餾水。