純水和超純水一般都沒有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)。是根據(jù)用戶的需求來規(guī)定。保定康達(dá)水業(yè)從一般意義上講純水至少應(yīng)該是去離子水，即水中大部分陰陽離子是應(yīng)該被去除的。細(xì)菌、懸浮物等的含量也應(yīng)是相當(dāng)?shù)偷?。目前水質(zhì)要求高的超純水是半導(dǎo)體行業(yè)，根據(jù)半導(dǎo)體芯片的大小和線徑的不同水質(zhì)要求也不一樣。

其超純水的水質(zhì)指標(biāo)如：電阻率大于18.2兆歐（25攝氏度）；TOC（總有機(jī)碳）小于1到10ppb，DO（溶解氧）小于1到10ppb；Particle（顆粒）：0.05微米小于200個/升；離子含量大部分是小于20到50ppt；細(xì)菌檢測：無。純水和超純水一般都沒有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)。一般意義上講純水至少應(yīng)該是去離子水，即水中大部分陰陽離子是應(yīng)該被去除的。

超純水處理是一般工藝很難達(dá)到的程度，采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達(dá)18.25MΩ*cm(25℃)。

超純水，又稱UP水，電阻率達(dá)到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。

純水又稱去離子水，是指市政自來水通過電滲析器法、離子交換器法、反滲透法、蒸餾法及其他適當(dāng)?shù)募庸し椒?，制得的密封于容器?nèi)，且不含任何添加物，無色透明，可直接飲用的水，也可以稱為純凈物(在化學(xué)上)，在試驗(yàn)中使用較多，又因是以蒸餾等方法制作，故又稱蒸餾水。

市場上出售的太空水，蒸餾水均屬純凈水;純水不含有礦物質(zhì)，但是人體所需的礦物質(zhì)并不一定要從水中獲取、像平常的飲食也能獲取大于普通水里含有的其他元素。